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特种加工/特种结构
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填空题
在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。
【参考答案】
掺杂技术
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填空题
金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。
填空题
电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。
填空题
离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。
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