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填空题
产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。 -
填空题
镀膜膜层厚度监控方法有（）和（）两种。 -
多项选择题
真空度不对会导致以下哪些结果（）。
A、整罩分光特性超差
B、均匀性不好
C、表面不好
D、膜层牢固度不好
