填空题
普通加热工艺镀制的薄膜微观结构是柱状结构，为了改善膜层结构，提高聚集密度，分别出现了三种成膜工艺（）、（）、（）。
【参考答案】
离子辅助镀；反应离子镀；溅射镀
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填空题
离子辅助镀；反应离子镀；溅射镀
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