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多项选择题
铝的电迁移可能导致的结果是（）
A.阳极短路
B.阳极断路
C.阴极短路
D.阴极断路 -
多项选择题
影响显影工艺的因素有（）。
A.曝光度
B.显影液浓度
C.显影方法
D.工序的温度和时间容量 -
多项选择题
下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）
A.脱水烘烤
B.旋转涂布法涂HMDS
C.气拍涂底法涂HDMS
D.软烘
