多项选择题
分子泵的控制器和泵体集成化以后有哪些优点（）？
A.部品（配线和线架）可削减
B.配线整理作业可削减
C.指定配线等的管理工数部品在库数可削减
D.不只是设备侧的远程控制、也可进行本地操作
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多项选择题
UTM300B 泵的特点是什么（）？
A.按装方向自由
B.控制器和泵体集成化
C.高压缩比高背压
D.采用磁浮轴承 -
多项选择题
离子溅射泵优点是什么（）？
A.可获得超、极高真空
B.安装方向自由
C.无油环境
D.无噪音无振动 -
多项选择题
对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。
A.抑制异常放电
B.正常放电恢复速度
C.使用寿命
D.维修速度
