问答题
简答题
举例说明各向同性和各向异性刻蚀的特点。
【参考答案】
各向同性刻蚀特点是：
1）刻蚀后形成圆弧的轮廓；
2）在光刻胶下面的图形出现侧蚀现象；
3......
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