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单项选择题
Module制程设备上通常都有高效过滤器（FFU），其作用是（）。
A.去除设备内静电
B.对进入设备内的水进行过滤
C.去除设备内异物
D.以上均不是 -
单项选择题
生产时使用的工作台面应当使用（）材料。
A.防静电
B.导电
C.绝缘
D.耐热 -
单项选择题
Pad Cleaning的作用是（）
A.清洁Panel Pad区异物
B.清洁CELL表面
C.清洁端子
D.清洁CF表面
