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单项选择题
扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。
A.无限表面源分布
B.杂质总量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布 -
单项选择题
根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）
A.杂质类型
B.扩散时间
C.杂质激活能
D.温度 -
单项选择题
扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。
A.面扩散
B.均匀扩散
C.梯度扩散
D.替位式扩散
