问答题
简答题
扫描电镜的分辨率受哪些因素的影响？用不同的信号成像时，其分辨率有何不同？
【参考答案】
扫描电子显微镜的分辨率与电子束束斑大小、检测信号种类、检测部位原子序数有关。
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