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采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。 -
单项选择题
关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）
A.电压相对位置、位移无滞后
B.晶体膨胀期间不可预测的力矢量
C.居里温度引起的温度限制，低温下压电效应的降低
D.柔性铰链的设计对环境噪声的放大 -
判断题
激光衍射是一种有效的全场测量。
