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多项选择题
UTM-A 系列泵，可调节转速后会有哪些好处（）？
A.可调整排气速度
B.可调节腔体真空度
C.无需流量调节阀
D.降低故障风险 -
多项选择题
油扩散泵的优点是什么（）？
A.构造简单、故障少
B.价格低廉
C.低振动低噪音
D.可高速运转 -
多项选择题
离子溅射泵的特点是什么（）？
A.无机械运动部分
B.无振动
C.无需再生
D.无噪音
