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单项选择题
如果跨导减小,MOS晶体管的噪声电流将()。
A.减小
B.增大
C.不变
D.不确定 -
多项选择题
在现代Si CMOS IC金属化工艺中,Ti和TiN的作用是()。
A.TiN是势垒层(阻挡层)
B.两个都是导电层
C.Ti是粘结层或焊接层
D.TiN防反射层 -
多项选择题
Poly-Si gate的刻蚀应采用什么特性和什么方法的刻蚀?()
A.湿法刻蚀
B.干法刻蚀
C.各向同性刻蚀
D.各向异性刻蚀
