问答题
简答题
简述正性胶和负性胶的作用原理。
【参考答案】
光致抗蚀剂根据光照后溶解度变化的不同分为正胶和负胶。
负性光刻胶是在光照下，涂层的溶解度下降，在溶解过程中（也......
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