相关考题
-
多项选择题
RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？
A.放电不稳定
B.匹配不稳定
C.Pr 残存
D.成膜慢 -
多项选择题
下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。
A.RF 电源
B.DC 电源
C.MF 电源
D.EB 电源 -
多项选择题
下列属于热阴极电离真空计的是（）。
A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列
