单项选择题
直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是()。
A.引晶(下种)
B.放肩
C.收尾
D.收颈
E.等径生长
A.ADBEC
B.ABCDE
C.ACBDE
D.ABDEC
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硅片制备最先进的抛光工艺是()。
A.化学抛光
B.机械抛光
C.化学机械抛光
D.CMP -
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现代硅单晶制备所需电子级多晶硅的纯度是()。
A.分析纯
B.化学纯
C.99.9999999%
D.9个N -
多项选择题
相对于其他半导体,硅半导体的重要性体现在()。
A.工艺最先进
B.材料性能优良
C.工艺成本低
D.晶圆尺寸最大
