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单项选择题
直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。A.引晶（下种）B.放肩C.收尾D.收颈E.等径生长
A.ADBEC
B.ABCDE
C.ACBDE
D.ABDEC -
多项选择题
硅片制备最先进的抛光工艺是（）。
A.化学抛光
B.机械抛光
C.化学机械抛光
D.CMP -
多项选择题
现代硅单晶制备所需电子级多晶硅的纯度是（）。
A.分析纯
B.化学纯
C.99.9999999%
D.9个N
