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单项选择题
下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）
A.水汽氧化
B.干氧氧化
C.湿氧氧化
D.化学气相淀积 -
单项选择题
直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。A.引晶（下种）B.放肩C.收尾D.收颈E.等径生长
A.ADBEC
B.ABCDE
C.ACBDE
D.ABDEC -
多项选择题
硅片制备最先进的抛光工艺是（）。
A.化学抛光
B.机械抛光
C.化学机械抛光
D.CMP
