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单项选择题
欲在一批小尺寸的基板上用小平面源蒸发沉积厚度一致的薄膜，基板相对于蒸发源应该放置在（）。
A.与小舟相切的球面上
B.与小舟垂直的球面上
C.与基板平行的方向上
D.与基板垂直的方向上 -
单项选择题
真空蒸发中常用的电阻蒸发金属发热材料不包括（）。
A.钨/W
B.钼/Mo
C.镍/Ni
D.钽/Ta -
单项选择题
在溶液镀膜法中各列举一个制备Al2O3薄膜的方法是（）。
A.阳极氧化
B.射频溅射
C.电子束蒸发
D.MOCVD
