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薄膜物理与技术
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判断题
溅射镀膜中,气压越高,入射离子越多,因此沉积速率越快。
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磁控溅射可以是直流溅射,也可以是射频溅射。
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化学气相沉积中,提高气体流速,可加快薄膜的沉积速率。
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