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特种加工/特种结构
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填空题
（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
【参考答案】
离子束
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填空题
离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。
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在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。
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金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。
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