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填空题
低压气相外延能降低（）效应，从而降低了外延时的杂质再分布。 -
多项选择题
关于铝膜下列哪种说法正确？（）
A.耐腐蚀性好
B.与硅接触可能出现尖楔现象
C.抗电迁移性差
D.稳定性好 -
多项选择题
看图判断，下列哪种描述正确？（）
A.图（b）是注入的低能离子
B.图（b）是注入的高能离子
C.图（a）是注入的低能离子
D.图（a）是注入的高能离子
