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单项选择题
刻蚀工艺可以和以下哪个工艺结合来实现图形的转移？（）
A.氧化
B.离子注入
C.光刻
D.抛光 -
单项选择题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量 -
单项选择题
掺杂后退火时间一般在（）。
A.30~60分钟
B.10~20分钟
C.60~90分钟
D.100~120分钟
