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单项选择题
注入损伤与注入离子的以下哪个参数无关？（）
A.能量
B.温度
C.剂量
D.质量 -
单项选择题
掺杂后退火时间一般在（）。
A.30~60分钟
B.10~20分钟
C.60~90分钟
D.100~120分钟 -
单项选择题
当许多损伤区连在一起时就会形成连续的非晶层，开始形成连续非晶层的注入剂量称为（）。
A.最低掺杂剂量
B.临界剂量
C.损伤剂量
D.掺杂剂量
