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单项选择题
以下磷（P）源属于气态源的是（）。
A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3 -
单项选择题
以下哪一项不属于扩散的局限性？（）
A.工艺简单
B.高温、深结
C.不能独立控制结深和浓度
D.横向扩散 -
单项选择题
扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。
A.无限表面源分布
B.杂质总量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布
