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单项选择题
以下不属于真空蒸发过程的是（）。
A.气相输运
B.薄膜淀积
C.薄膜定向
D.加热蒸发 -
单项选择题
以下磷（P）源属于气态源的是（）。
A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3 -
单项选择题
以下哪一项不属于扩散的局限性？（）
A.工艺简单
B.高温、深结
C.不能独立控制结深和浓度
D.横向扩散
