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多项选择题
CVD基本过程包括()。
A.在表面进行化学反应,在表面淀积成薄膜
B.副产物脱离吸附
C.脱吸副产物逸出反应室
D.反应剂传输至衬底表面,反应剂吸附在表面 -
多项选择题
CVD薄膜有哪些应用?()
A.钨塞
B.钝化层
C.层间介质BPSG -
多项选择题
CVD技术可以制备的薄膜有()。
A.SiO2
B.单晶硅
C.BSG
D.Si3N4
