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多项选择题
可以采取哪种方法来提高光刻分辨率（）
A.增长光源波长
B.增大分辨率系数
C.减小分辨率系数
D.缩短光源波长 -
多项选择题
下列哪个工艺方法应用了等离子体技术（）
A.RIE
B.MOCVD
C.溅射
D.LPCVD -
单项选择题
实际VPE工艺温度多在质量传递控制区，此时外延速率（）
A.对温度不太敏感
B.对温度非常敏感
C.源的气相扩散的影响不大
D.源气体分压的影响不大
