相关考题
-
多项选择题
刻蚀过程中聚合物形成的来源有（）。
A.光刻胶
B.Si衬底
C.刻蚀气体中的碳和其它物质组成的化合物
D.刻蚀溶液 -
多项选择题
掺杂后，退火的目的是（）。
A.实现电激活
B.修复损伤
C.提高掺杂均匀性
D.加大损伤 -
多项选择题
常压的硅外延方法有（）。
A.四氯化硅氢还原法
B.三氯氢硅氢还原法
C.二氯氢硅烷法
D.硅烷热分解法
